Для подавляющего большинства предприятий с парком точного оборудования является больным вопрос вибраций, критически влияющий на некоторые технологические процессы, такие, как фото- и проекционная литография, инспекция на оптических микроскопах, работа с АСМ, СЗМ и пр. Расположение лабораторий рядом с трамвайными путями, железной дорогой или на высотных этажах сильно усугубляют ситуацию с вибрациями и требуют от них защиты. Даже внутри чистых комнат и серых зон, помимо человеческого, остаются и техногенные факторы привнесения вибраций – работа двигателей вытяжек, компрессоров форвакуумных насосов и пр.

Различают санитарно-гигиеническое и техническое нормирование.

В первом случае производят ограничение параметров вибрации рабочих мест и поверхности контакта с конечностями работающих, исходя из физиологических требований, и снижающих возможность возникновения вибрационной болезни.

Во втором случае осуществляют ограничение параметров вибрации с учетом не только указанных требований, но и технически достижимого на сегодняшний день для данного вида машин уровня вибрации.

Санитарно-гигиеническое нормирование вибраций регламентирует параметры производственной вибрации и правила работы с виброопасными механизмами и оборудованием, ГОСТ 12.1.012-2004 «ССБТ. Вибрационная безопасность. Общие требования», СН 2.2.4/2.1.8.566-96 «Производственная вибрация, вибрация в помещениях жилых и общественных зданий». При строительстве комплексов высокоточных научно — исследовательских и технологических производств, а также при размещении высокоточного оборудования: прецизионных станков, оптических столов, электронных микроскопов, исследовательского и измерительного оборудования, необходимо, чтобы вибрация перекрытий, на которых такое оборудование будет размещено, не превышала допускаемых производителем значений.

Документы устанавливают: классификацию вибраций, методы гигиенической оценки, нормируемые параметры и их допустимые значения, режимы труда лиц виброопасных профессий, подвергающихся воздействию локальной вибрации, требования к обеспечению вибробезопасности и к вибрационным характеристикам машин.

Вибрационная нагрузка на оператора нормируется для каждого направления действия вибрации.

Для локальной вибрации норма вибрационной нагрузки на оператора обеспечивает отсутствие вибрационной болезни, что соответствует критерию «безопасность».

Для общей вибрации нормы вибрационной нагрузки на оператора установлены для категорий вибрации и соответствующих им критериям оценки.

Для виброзащиты оборудования могут использоваться следующие основные методы.

  1. Виброизоляция — установка оборудования на пружинные, резиновые или резинометаллические виброизоляторы.
  2. Установка динамических (в том числе ударных) гасителей колебаний.
  3. Использование активных систем виброизоляции.